一种基于序列模式挖掘的生产路径分析方法及系统

发明公开了一种基于序列模式挖掘的生产路径分析方法及系统，包括如下步骤：S1：获取原始工艺路径，找出关键步骤集；S2：遍历关键步骤集找寻满足最小支持度的频繁项集合，计算频繁项集合不为空时，频繁项集合中不同路径的晶圆良率；S3：对不同路径的晶圆良率进行优等路径的最低良率阈值ku的单样本T检验，输出优等路径集；S4：对优等路径集进行合并，得到最佳路径集；S5：计算最佳路径集的准确率和良率，输出最佳路径集的评价指标；该生产路径分析方法可以在众多生产路线中快速准确地找到良率最优的生产路线，从而优化工艺路线，达到提高晶圆良率的目的。